功能

本设备主要用于不锈钢、钛合金、硬质合金、有色金属等材料的真空热处理，也适用于工具钢、模具钢等合金钢的退火等金属材料热处理及真空烧结，金属材料的高温真空钎焊，半导体模组真空封装等

重要参数

• 装料量：>200Kg（可定制）

• 有效加热区尺寸： ≥400×400×600（W×H×L）mm（可定制）

• 控温精度： ≤±1℃

• 最高加热温度：1350℃

装卸片方式

单室、卧式、金属反应腔体

优势

• 水平载片：炉体采用螺旋水冷夹套设计，有效兼顾热场冷却功能和温度均匀性

• 采用金属加热与多屏蔽层设计

• 独立三温区结构设计，有效保证反应腔室控温精度

• 可应用于真空排胶和多种气氛及分压工艺处理场合

• 设备维护方便和可操作性高