2016年 · 深圳市米乐(M6)能源技术有限公司注册成立

2017年 · 第一代硼扩散设备定型销售

2018年 · 立式PECVD 设备定型销售

2018年 · LPCVD设备定型销售

2018年 · 实现TOPCon量产

2019年 · 完成磷扩散设备、硼扩散第二代设备定型销售，实现PERC+SE量产

2019年 · 完成用于第三代半导体SiC、GaN超高温氧化炉/退火炉/真空钎焊炉定型销售

2020年 · 完成氧化退火设备LOX370/05定型销售，满足180mm+和210mm硅片量产

2020年 · 获得首个第三代半导体设备订单

2020年 · 完成磷扩散、硼扩散、LPCVD第三代设备定型销售

2021年 · 无锡基地投入使用

2021年 · 设备持续升级迭代，推出第四代设备，高效电池核心设备累计出货突破20GW

2022年 · 完成第4.5代硼扩散和LPCVD定型销售，硼扩散和LPCVD新签订单量突破650台；PECVD和磷扩散新签订单量突破350台

2022年 · 泰州基地正式投入使用，实现核心零部件热场自产

2023年 · 深圳基地竞得自有土地；广州基地正式开工建设；自动化设备累计发货突破1000台；硼扩散、LPCVD、PECVD以及磷扩散等工艺设备累计发货突破2000台

2023年 · 员工数突破3000人